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18. Januar 2011 | Pressemeldungen

Renommiertes F&E-Zentrum in den USA erforscht Graphen auf SiC mit horizon- talem Heißwandreaktor von AIXTRON

Das Forschungs- und Entwicklungszentrum eines großen Unternehmens im Nordosten der USA hat eine Siliziumkarbid CVD*-Anlage von AIXTRON bestellt. Die Anlage – eine 1x4-Zoll VP508GFR – wird mit einem doppelten horizontalen Heißwandreaktor geliefert, der aufgrund des Gas Foil Rotation-Prinzips** sehr gute Waferhomogenität und Hochtemperaturprozesse ermöglicht.

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