DEPOSITIONSANLAGE FÜR VERBINDUNGSHALBLEITER 

Close Coupled Showerhead® CCS Anlagen           für F&E

"Flexible MOCVD-Anlagen für F&E und Kleinserienfertigung"

Vorteile

  • Vielseitige F&E-Anlage mit integrierter Glovebox
    • Skalierbar von F&E bis Massenproduktion
    • Gleichmäßiges und reproduzierbares Wachstum für alle Materialsysteme
    • Hohe Flexibilität im Prozessfenster für exzellente Materialqualität und Gleichmäßigkeit
  • Ideal für kleine F&E-Budgets durch geringe laufende Kosten
    • Geringer Gasfluss und hohe Vorlaufeffizienz
    • Leichte und kostengünstige Wartung

Produkteigenschaften

  • Hohe Flexibilität für verschiedene MO- und Hydridquellen
  • Digitale Massendurchfluss- und Druckregler
  • Professionelles AIXACT® Advanced Control System mit HTML-basierter GUI
  • Kompakte Standfläche

CCS

  • Bewährte Close Coupled Showerhead®-Prozesskammer mit 3-Zonen-Heizer 
  • Dynamische Prozessspaltanpassung - effektives Prozess-Tuning für mehr Leistung
  • 1400 °C Oberflächentemperatur-Option
  • In-situ-Monitoring mit Laytec EpiTT, EpiCurveTT und weiteren auf Anfrage
  • Vollständige Abbildung der Wafer-Temperatur mit AIXTRON ARGUS 
  • AIXTRON Epison-Gaskonzentrationssensoren
  • Konfigurationen  (durch einfachen Trägeraustausch)
    • 3x2-Zoll, 1x3-Zoll, 1x4-Zoll
    • 6x2 Zoll, 7x2-Zoll, 3x3 Zoll, 1x4-Zoll, 1x6 Zoll
    • 19x2-Zoll, 7x3-Zoll, 5x4-Zoll, 1x6-Zoll, 1x8-Zoll

CCS-Anlagen für F&E

Ihr Ansprechpartner

AIXTRON Ltd. UK

Dr. Andrew Pakes

Senior Produkt Manager

Service

AIXTRON SE (Headquarters)

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

AIXTRON Europe

AIXTRON Ltd (UK)

AIXTRON K.K. (Japan)

AIXTRON Korea Co., Ltd.

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

AIXTRON Inc. (USA)

Produkte

Vincent Meric
Vice President Marketing

Karriere

Laura Preinich
Recruiter

Tom Lankes
Talent Acquisition Expert - Ausbildungsleitung

Nachhaltigkeit 

Christoph Pütz
Senior Manager ESG & Sustainability

Unternehmen & Investor Relations

Christian Ludwig
Vice President

Ralf Penner
Senior IR Manager

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President Advanced Technologies

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Ragah Dorenkamp
Director Corporate Communications