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TECHNOLOGIEN
Die MOCVD-Massenproduktionsanlagen basieren auf dem Planetenkonzept (Planetary Reactor), das von AIXTRON stetig weiterentwickelt wird. Die Reaktoren können mehrere Substrate mit Durchmessern von 2 bis 8-Zoll bzw. 200mm aufnehmen.
Der Planetary Reactor ® basiert auf dem Prinzip eines horizontalen Laminarflussreaktors. Dieses gewährleistet schärfste Übergänge zwischen verschiedenen Materialien und eine unvergleichliche Steuerung der Abscheideraten im Bereich einzelner Atomlagen. Die Kombination dieses Prinzips mit der Mehrfachrotation der Substratträger stellt sicher, dass die Abscheidung mit exzellenter Homogenität bezüglich Schichtdicke, Zusammensetzung und Dotierung erfolgt. Zudem gewährleistet der spezielle Reaktoreinlass, der eine Separation einiger Gase erlaubt, einen nach außen gleichmäßigen radialen Fluss mit einer optimal einstellbaren Verteilung.
Die Reaktoren sind induktiv geheizt und mit verschiedensten In-Situ-Sensoren ausrüstbar.
Alan Tai
Taiwan/Singapore
Christof Sommerhalter
USA
Christian Geng
Europe
Hisatoshi Hagiwara
Japan
Nam Kyu Lee
South Korea
Wei (William) Song
China
AIXTRON SE (Headquarters)
AIXTRON 24/7 Technical Support Line
AIXTRON Europe
AIXTRON Ltd (UK)
AIXTRON K.K. (Japan)
AIXTRON Korea Co., Ltd.
AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)
AIXTRON Inc. (USA)
Laura Preinich
Recruiter
Tom Lankes
Talent Acquisition Expert - Ausbildungsleitung
Christoph Pütz
Senior Manager ESG & Sustainability
Christian Ludwig
Vice President
Ralf Penner
Senior IR Manager
Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President Advanced Technologies
Ragah Dorenkamp
Director Corporate Communications