Graphenea erhöht Kapazität mit AIXTRON BM Pro

AIXTRON SE (FSE: AIXA; NASDAQ: AIXG), ein weltweit führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, gab heute bekannt, dass er vom spanischen Unternehmen Graphenea, einem der weltweit führenden Anbieter von Graphen und verwandten Materialien, einen neuen Auftrag für ein BM Pro-System erhalten hat. Der Fokus von Graphenea liegt in der Entwicklung Graphen-basierter Schichten für die Halbleiterindustrie.

Die dritte Generation der BM Pro-Anlage von AIXTRON wurde speziell für die Abscheidung hochwertigen Graphens optimiert. Daneben verfügt die Anlage für Graphenea über den derzeit höchsten Durchsatz. Graphenea bestellte die Depositionsanlage mit einer 8-Zoll-Konfiguration im ersten Quartal 2016. Die Lieferung erfolgt im Lauf des Jahres. Die anschließende Installation und Inbetriebnahme des Systems übernimmt das europäische Support-Team von AIXTRON.

Die Wissenschaftliche Direktorin von Graphenea, Dr. Amaia Zurutuza, sagte dazu: „Unser bereits vorhandenes AIXTRON BM Pro-System hat sich bei der Produktion von Graphen für unsere Erfordernisse als sehr zuverlässig erwiesen. Um die Graphen-Produktion weiter zu steigern, haben wir uns aufgrund seiner skalierbaren Technologie erneut für eine AIXTRON BM Pro-Anlage entschieden und können so unsere Produktionserfordernisse für Graphen in Bezug auf einen höheren Durchsatz und größere Flächen umsetzen. Zudem erfüllt das System unsere Anforderungen an den Betrieb bei hohen Temperaturen sowie an eine exzellente Homogenität. Systemflexibilität, geringer Wartungsaufwand, automatische Rezeptausführung und Prozessunterstützung waren weitere zwingende Gründe dafür, dass unsere Wahl erneut auf AIXTRON gefallen ist.“

Jesus de la Fuente, CEO von Graphenea, sagt: „Diese neue Anlage ist Teil unseres großen Investitionsprogramms zur Einführung der Graphen-Technologie in kommerziellen Bauelementen. Unser Schwerpunkt liegt dabei auf der Integration von Graphen-Materialien in CMOS-Fabriken (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor = sich ergänzende Metalloxid-Halbleiter), was zunächst mit 8-Zoll-Wafern beginnt und künftig auf 12-Zoll-Wafer erweitert werden soll.“

Graphenea, ein führendes Unternehmen im Bereich der Graphen-Produktion und mit Risikokapital des Ölkonzerns Repsol sowie von CDTI (Centre for the Development of Industrial Technology) finanziert, wurde 2010 gegründet und hat sich seitdem zu einem der weltgrößten Anbieter von Graphen entwickelt. Die Hauptsitze des Unternehmens befinden sich am Nanotechnologie-Cluster CIC nanoGune in San Sebastian, Spanien, und auf dem Campus des Massachusetts Institute of Technology (MIT) nahe Boston, USA. Das Unternehmen konzentriert sich auf die konstante Verbesserung der Graphen-Qualität und hat sich zu einem verlässlichen Lieferanten entwickelt.

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