ZUSAMMENGEFASSTER LAGEBERICHT

Dieser Lagebericht fasst den Lagebericht der AIXTRON-Gruppe und den Lagebericht der AIXTRON SE zusammen. Wir berichten darin über den Geschäftsverlauf sowie über die Lage und die voraussichtliche Entwicklung des AIXTRON-Konzerns (im Folgenden auch als „AIXTRON“, „AIXTRON-Konzern“, „die Gruppe“ bezeichnet) sowie der AIXTRON SE (auch als „das Unternehmen“ oder „die Gesellschaft“ bezeichnet). Die Ausführungen zur AIXTRON SE sind in einem eigenen Abschnitt im Wirtschaftsbericht mit Angaben nach HGB enthalten.

Der Konzernabschluss der Gesellschaft ist unter Anwendung von § 315e HGB in Übereinstimmung mit den International Financial Reporting Standards (IFRS), wie sie in der Europäischen Union anzuwenden sind, erstellt. Mit Ausnahme der HGB-Angaben im Kapitel Lagebericht der AIXTRON SE sind alle in diesem zusammengefassten Lagebericht enthaltenen Finanzzahlen, einschließlich der Vergleichszahlen für das Vorjahr, nach IFRS ausgewiesen.

Aufgrund von Rundungsdifferenzen ist es möglich, dass bei der Summierung von Einzelpositionen Unterschiede zu den angegebenen Summen auftreten und aus diesem Grunde auch Prozentsätze nicht genau den absoluten Zahlen entsprechen.

Geschäftsmodell

Die Geschäftstätigkeit von AIXTRON umfasst die Entwicklung, Produktion und Installation von Anlagen für die Abscheidung (Deposition) komplexer Halbleitermaterialien, die Entwicklung von Abscheideverfahren auf diesen Anlagen, die Beratung und Schulung sowie die Kundenbetreuung und den Service für diese Anlagen. AIXTRON bietet darüber hinaus Peripheriegeräte und Dienstleistungen zum Betrieb seiner Anlagen an.

Dabei liefert AIXTRON sowohl Depositionsanlagen für die Volumenfertigung als auch Anlagen für die Forschung und Entwicklung (F&E) und Vorserienproduktion.

Die Nachfrage nach den AIXTRON-Anlagen wird durch Anforderungen an höhere Energieeffizienz in der Leistungselektronik, durch die Transformation hin zur Elektromobilität, durch steigende Übertragungsgeschwindigkeit und -menge von Daten sowie durch den Einsatz von 3D-Sensorik in Unterhaltungselektronik und im Automobilsektor und nicht zuletzt dem Einsatz innovativer Technologien wie Micro LEDs in Displays beeinflusst. Mit seinen Technologien zur Materialbeschichtung versetzt AIXTRON seine Kunden in die Lage, die Leistungsfähigkeit und die Qualität moderner Bauelemente der Leistungs- und Optoelektronik zu verbessern und die Wirtschaftlichkeit bei der Produktion zu steigern.

Organisationsstruktur

Standorte und rechtliche Unternehmensstruktur
 

Der AIXTRON-Konzern umfasst die Muttergesellschaft AIXTRON SE mit Hauptsitz in Herzogenrath, Deutschland, und deren Tochtergesellschaften. Die AIXTRON SE war zum 31. Dezember 2022 direkt oder indirekt an 11 Gesellschaften beteiligt, die zum AIXTRONKonzern gehören und voll konsolidiert werden:

Konzernführung

Die AIXTRON SE verfügt als Europäische Aktiengesellschaft über ein dualistisches System der Leitungsorgane bestehend aus Vorstand und Aufsichtsrat. Der Vorstand hat die Leitung der Gesellschaft inne und führt die laufenden Geschäfte in eigener Verantwortung, während er vom Aufsichtsrat beraten und überwacht wird. Im Geschäftsjahr 2022 gab es folgende personelle Veränderungen der Geschäftsführungsund Aufsichtsorgane der Gesellschaft:

Auf der Hauptversammlung am 25. Mai 2022 wurde beschlossen den Aufsichtsrat von fünf auf sechs Mitglieder zu erweitern. Herr Dr. Stefan Traeger, Vorstandsvorsitzender der JENOPTIK AG, wurde als neues Aufsichtsratsmitglied gewählt und Herr Kim Schindelhauer, bisheriger Aufsichtsratsvorsitzender, wurde in seiner Funktion als Vorsitzender wiedergewählt. Die Zusammensetzung des Vorstands hat sich gegenüber dem 31. Dezember 2021 nicht verändert.

Detaillierte Informationen zur Zusammensetzung von Vorstand und Aufsichtsrat, zu deren Aufgabenverteilung untereinander, zur Arbeitsweise der Ausschüsse des Aufsichtsrats sowie zum Diversitätskonzept der Gesellschaft sind der Erklärung zur Unternehmensführung zu entnehmen. Diese ist Teil dieses Geschäftsberichts und auf unserer Website unter Erklärung zur Unternehmensführung abrufbar.1

Technologie und Produkte

Die AIXTRON-Produktpalette umfasst kundenspezifische Anlagen für die Abscheidung komplexer Halbleitermaterialien. Hierbei können Substrate unterschiedlicher Materialien und Größen beschichtet werden.

¹ Die Angaben in der Erklärung zur Unternehmensführung wurden gemäß der Anforderungen des Deutschen Corporate Governance Kodex 2022 gemacht. Sie sind als “lageberichtsfremd” einzustufen, da sie über die gesetzlichen Anforderungen hinausgehen und sind somit kein Bestandteil der inhaltlichen Prüfung durch den Abschlussprüfer.

Zur Herstellung von Komponenten für die Leistungselektronik oder für die Optoelektronik aus Verbindungshalbleiter-Materialien wird das MOCVD-Verfahren (Metall-Organische Chemische Gasphasenabscheidung) angewendet.

Unsere Anlagen im Bereich der Leistungselektronik werden für die Fertigung von Galliumnitrid (GaN)-Halbleiterbauelementen genutzt, die zum Beispiel die Leistungsfähigkeit von Ladegeräten in der Unterhaltungselektronik steigern, eine energiesparende Stromversorgung von Servern und Rechenzentren und eine effiziente Stromwandlung im Bereich erneuerbarer Energie ermöglichen. Ein zweites großes Anwendungsfeld der Leistungselektronik sind Siliziumkarbid (SiC)-Bauelemente, die z.B. in den Hauptwechselrichtern für Elektrofahrzeuge, in deren Ladeinfrastruktur, und auch in Wechselrichtern für erneuerbare Energien (Solar und Wind) eingesetzt werden. Auch diese Bauelemente werden von unseren Kunden mit unseren CVD-Anlagen gefertigt. Sowohl GaN als auch SiC sind Materialsysteme mit großer Bandlücke (Wide-Band-Gap, WBG) die am Anfang stehen, in verschiedenen Bereichen der Leistungselektronik verstärkt angewendet zu werden. Damit tragen sie zur Dekarbonisierung unserer modernen Gesellschaft bei und unterstützen den Klimaschutz.

Auf unseren Anlagen im Bereich Optoelektronik fertigen Kunden Laser für die schnelle optische Datenübertragung und für die 3D-Sensorik. Letztere werden immer stärker eingesetzt in Anwendungen, die eine Erkennung des räumlichen Kontextes erfordern, wie z.B. in der Umgebungserfassung von Robotern oder in autonom fahrenden Fahrzeugen. Ein weiterer Anwendungsbereich ist die Fertigung von LED-Bildpunkten (Pixeln) für Display-Anwendungen der nächsten Generation, sogenannte Micro LED Displays. Zu weiteren Anwendungen unserer Anlagen gehört die Herstellung von Spezial-LEDs, wie z.B. rote, orange und gelbe LEDs (ROY) u.a. für die Automobilbeleuchtung und für das Indoor Farming.

AIXTRON arbeitet kontinuierlich an der Verbesserung seiner existierenden Technologien und Produkte. Im vergangenen Jahr hat AIXTRON mit der G10-SiC die erste Anlage der neu entwickelten Generationen vorgestellt. Die G10-SiC ist eine Anlage für die Herstellung von SiC-Bauelementen sowohl auf 150 mm als auch auf 200 mm SiC-Wafern. Bei dieser Anlagengeneration liegt der Fokus neben der kontinuierlichen Verbesserung der Material- Performance insbesondere darauf, die Anlagen durch mehr Automatisierung mit industrieüblichen Standardschnittstellen weiter für die Großserienproduktion zu optimieren, zum Beispiel durch die effiziente Nutzung begrenzter Reinraumflächen in Halbleiterfabriken.

Geschäftsprozesse

Produktion und Beschaffung

AIXTRON produziert seine Prototypen- und Kundenanlagen an seinen Produktionsstandorten in Herzogenrath und in Cambridge. Schwerpunkte bei der Produktion liegen in der Montage, dem Testen und Qualifizieren sowie der Inbetriebnahme der Anlagen nach standardisierten Vorgaben.

Die zur Herstellung der Anlagen erforderlichen Komponenten und die Mehrzahl der vormontierten Baugruppen bezieht der Konzern von externen Lieferanten und Dienstleistern. Die Leistungsfähigkeit unserer Lieferketten wird gesteigert, um sowohl diehöheren Gesamtbedarfe abzusichern als auch schwankende Lieferfähigkeiten auszugleichen. Auf Basis eines rollierenden Forecasts werden die notwendigen Maßnahmen zur Sicherstellung der Materialverfügbarkeit in Abstimmung zwischen Vertrieb, Einkauf und Produktion getroffen. Dazu zählt auch die Früherkennung von Engpässen an Rohmaterialien sowie Komponenten. Zusammen mit den Partnern in der Lieferkette werden geeignete Strategien für die Verfügbarkeit der Warenbestände angewandt.

Die Montage der Anlagen wird unter Zuhilfenahme externer Dienstleister in den eigenen bzw. bei Bedarf in angemieteten nahegelegenen Produktionsstätten durchgeführt. Die anschließende Inbetriebnahme, der Test sowie die Qualifikation der Anlagen erfolgt durch AIXTRON-Fachkräfte. Die Planung, Steuerung und Überwachung der Produktion wird ausschließlich durch AIXTRON-Mitarbeiter verantwortet und ermöglicht somit die Sicherstellung der Qualitätsanforderungen im gesamten Produktionsprozess.

Im Jahr 2022 bzw. Anfang 2023 hat AIXTRON die Markteinführung der Produkte G10-SiC und G10-AsP in der Serienproduktion erfolgreich abgeschlossen.

Die Produktionsstandorte von AIXTRON verfügen über ein gemäß ISO 9001:2015 zertifiziertes prozessorientiertes Qualitätsmanagementsystem. Im Jahr 2021 haben externe Prüfer die Zertifizierung der Qualitätsmanagementsysteme sowohl der AIXTRON SE als auch der AIXTRON Ltd. ohne jegliche Abweichung bestätigt.

Mitarbeiter

Die führende Position von AIXTRON auf dem Weltmarkt und die Fähigkeit zur kontinuierlichen Innovation sind dem Engagement und Wissen unserer Mitarbeiter zu verdanken. Unser Personalwesen ist daher darauf ausgelegt, ein sicheres und förderndes Umfeld zu schaffen sowie ein wertschätzendes und kooperatives Miteinander zu unterstützen.

Die Gewinnung und Bindung hochqualifizierter Fach- und Führungskräfte ist ein entscheidender Erfolgsfaktor. Im Wettbewerb um die besten Talente bauen wir mit umfassenden Employer-Branding-Aktivitäten unsere Attraktivität als Arbeitgebermarke fortlaufend weiter aus. Neben einer umfassenden, gänzlich neu gestalteten informativen Karriereseite und weiteren Kommunikationswegen nutzen wir verschiedenste, zielgruppengerechte Rekrutierungskanäle, zunehmend in den sozialen Medien. Auch der persönliche Kontakt zu potenziellen Bewerbern auf Jobmessen und ähnlichen Veranstaltungen sowie im Rahmen unserer engen Kooperation mit Universitäten weltweit ist für uns von großer Bedeutung.

AIXTRON arbeitet nachhaltig an der Etablierung einer modernen Unternehmenskultur mit einer ausgereiften Führungskultur und einem guten Miteinander. Wir legen großen Wert darauf, unsere Mitarbeiter kompetent und partnerschaftlich zu begleiten, individuell zu fördern und mit zukunftsorientierten Projekten und Aufgaben zu fordern. Im Rahmen unseres unternehmensweiten Personalentwicklungskonzepts bieten wir unseren Mitarbeitern eine Vielzahl an Maßnahmen zur kontinuierlichen Weiterbildung sowie individuelle Fortbildungsmaßnahmen und Entwicklungsmöglichkeiten an.

Eine weitere zentrale Säule unserer Unternehmenskultur ist AIXTRONs Bekenntnis zu Vielfalt und Chancengleichheit. Wir fördern ausdrücklich die Zusammenarbeit in gemischten Teams und zwischen verschiedenen Kulturen und Nationalitäten. Zudem legen wir Wert auf eine angemessene Geschlechterbalance und eine ausgewogene Altersstruktur.

Im Geschäftsjahr 2022 erhöhte sich die Zahl der Mitarbeiter im Konzern deutlich von 718 zum Ende des Jahres 2021 um ca. 25% auf 895 zum 31. Dezember 2022. Dieser deutliche Mitarbeiterzuwachs ist auf das weiter stark wachsende Kerngeschäft der Gruppe zurückzuführen. Der größte Teil der Mitarbeiter ist wie in den Vorjahren in Europa angesiedelt.

Kunden und Regionen

AIXTRONs Kunden umfassen die Branchen der Leistungselektronik, Optoelektronik und Displayindustrie. Sie stellen zum Beispiel Leistungs-Halbleiterbauelemente für Anwendungen in der IT-Infrastruktur, in der Unterhaltungselektronik, in der Energieerzeugung und für die Nutzung im Bereich der Elektromobilität her. In der Optoelektronik fertigen sie unter anderem Laser für die Datenübertragung, für die Unterhaltungselektronik und den Automobilsektor. Kunden aus der Displayindustrie hingegen konzentrieren sich unter anderem auf die Herstellung von neuartigen LEDs (Mini und Micro LEDs), um Displays aller Größen, von der Smartwatch bis zu großflächigen Anzeigetafeln zu adressieren. Der Bereich der energiesparende, WBGbasierte Leistungselektronik gewinnt in vielen Anwendungsbereichen an Bedeutung und definiert neue Standards z.B. bei der Energieumwandlung in Haushaltsgeräten oder der Unterhaltungselektronik.

Einige dieser Kunden sind vertikal integriert und beliefern die gesamte Wertschöpfungskette bis hin zum Endverbraucher. Andere wiederum sind unabhängige Hersteller von Bauelementen oder von Epitaxie-Wafern, die auf AIXTRON-Anlagen hergestellte Produkte an Unternehmen der nächsten Stufe in der Wertschöpfungskette, die Hersteller elektronischer Komponenten, liefern. Zu AIXTRONs Kunden zählen auch Forschungsinstitute und Universitäten, an denen insbesondere die Erforschung neuartiger Materialien und neuer Anwendungsfelder vorangetrieben wird.

AIXTRONs Produkte werden weltweit vertrieben. Die Marktsegmente und der Produktmix sind regional unterschiedlich stark ausgeprägt. Viele große Hersteller von Bauelementen produzieren vorwiegend in Asien. Daher wird dort auch der Großteil der Umsätze von AIXTRON erzielt. Zunehmend werden jedoch Produktionskapazitäten von Halbleiterherstellern auch außerhalb Asiens aufgebaut, was zu entsprechenden Veränderungen der regionalen Umsatzverteilung führen kann.

Das Kapitel „Umsatzentwicklung” enthält eine detaillierte Aufstellung der Umsätze nach Regionen.

Ziele und Strategie

Mit Entwicklung, Herstellung, Vertrieb und Wartung von Anlagen zur Dünnschicht- Abscheidung komplexer Materialien adressiert AIXTRON wachsende Zukunftsmärkte entlang vieler Endanwendungsfelder, wie z.B. Unterhaltungselektronik, IT-Infrastruktur, Automobilindustrie, Telekommunikation und Energieerzeugung.

Auf dem Gebiet dieser komplexen Depositionsverfahren besteht die Strategie von AIXTRON darin, mit einem klaren Fokus auf seine Kernkompetenzen die Technologie und die Produkte so zu entwickeln, dass sie möglichst viele Endanwendungen adressieren. Es geht dabei vor allem um die Steigerung der Produktivität und somit eine hohe Wettbewerbsfähigkeit im spezifischen Anforderungsprofil der jeweiligen Anwendung. So adressiert AIXTRON die stark wachsenden Endmärkte, um die Erträge für die Entwicklung weiterer vielversprechender zukünftiger Anwendungen zu generieren.

Technologieportfolio zur Abscheidung komplexer Materialien

Unser Ziel ist es, durch Innovation und Technologieführerschaft unsere Marktposition in den Fokusmärkten langfristig zu sichern, sowie durch Anwendung unserer Kernkompetenzen die adressierbaren Endanwendungen zu erweitern und auf angrenzende Märkte auszudehnen. Die ökologische und ökonomische Nachhaltigkeit des Geschäfts, die Erhöhung des Umsatzes sowie die Steigerung der Profitabilität stehen dabei im Fokus unserer strategischen Planung.

Der Kern der Strategie von AIXTRON liegt darin, die Produkte auf die Anforderungen der jeweiligen Anwendungsfelder zuzuschneiden und dabei den Fokus auf die Nutzung von AIXTRONs Kernkompetenzen zu wahren. Diese zielgenaue Adressierung der Anwendungen und Märkte, die hinsichtlich Größe, Wachstum, Profitabilität und Differenzierungspotenzial für AIXTRON attraktiv sind, ist aktuell sehr erfolgreich. Denn diese Anwendungen aus unterschiedlichen Bereichen wie z.B. der Unterhaltungselektronik, IT-Infrastruktur und Elektromobilität unterliegen voneinander weitgehend unabhängigen Wachstumsdynamiken. Dabei ist AIXTRON nicht nur von einem einzelnen Segment abhängig, sondern strebt über die Breite der Anwendungen 33und die breit diversifizierte Kundenbasis eine Robustheit gegen Schwankungen in einzelnen Anwendungsmärkten an. Zu diesem Zweck entwickelt AIXTRON aktiv ein breites Technologieportfolio durch eigene oder geförderte Entwicklungen, durch Kooperationen oder gezielte Zukäufe. Die Pflege und Entwicklung von Technologie-Ökosystemen in der engen Zusammenarbeit mit Kunden und ggf. deren Kunden oder Technologiepartnern erlaubt AIXTRON, neue Technologien zu etablieren und neue Anwendungen erschließen.

Dabei liegt der Fokus auf Märkten, in denen der Einsatz der AIXTRON-Technologie eine Differenzierung gegenüber Wettbewerbern ermöglicht und dadurch den Kunden einen entscheidenden Mehrwert bieten soll. Dies wird unter anderem erreicht durch die Homogenität der physikalischen Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten und damit einer hohen Ausbeute auf dem Wafer (“Yield”), bei gleichzeitig hohem Durchsatz und niedrigen Material- und Wartungskosten. Ein wichtiger Differenzierungsfaktor ist dabei die hohe Produktivität und Wirtschaftlichkeit unserer Anlagen, z.B. durch den hohen Durchsatz der Anlagen dank des sogenannten Batch-Reaktors, in dem mehrere Wafer gleichzeitig produziert werden können. Dadurch können unsere Kunden die direkten und indirekten Anlagenkosten, wie z.B. Kosten für Reinraumfläche, auf hohe Produktionsvolumina umlegen. In vielen Anwendungen ist die hohe Reaktorarchitekturbedingte Effizienz des Materialeinsatzes ein weiterer wichtiger Kostenfaktor. In Märkten, die kein ausreichendes technisches Differenzierungspotenzial für den Einsatz der AIXTRON Technologien bieten, wie z.B. im Markt zur Herstellung blauer und grüner LEDs vornehmlich in China, können nur niedrige Margen erzielt werden.

AIXTRON verfolgt mit seinen auf dem Planetenprinzip beruhenden Anlagenfamilien eine Plattformstrategie. Bei einem hohen Anteil von Gleichteilen können die Anlagen kundenspezifisch angepasst werden. Dies ermöglicht, wie im vorherigen Abschnitt skizziert, eine breite Diversifizierung und die Bedienung zahlreicher Anwendungen. Neben den Planetenanlagen, die Kunden mit hohem Produktionsvolumen adressieren, vertreibt AIXTRON auf dem Showerheadprinzip beruhende Anlagen in Universitäts- und Nischenmärkten. Dies ermöglicht AIXTRON u. a. früh bei der Entwicklung neu entstehender Anwendungen mitzuwirken und die entstehenden Kundenbedürfnisse in neuen Märkten frühzeitig zu verstehen.

Steuerungssystem

Da zahlreiche Geschäftsaktivitäten innerhalb des Konzerns auf operativer Ebene weitestgehend integriert sind, steuert der Vorstand der AIXTRON SE die Gruppe auf Ebene des Gesamtkonzerns. Die vom Vorstand für den Konzern prognostizierten Entwicklungen treffen somit auch für die AIXTRON SE zu.

Bedeutende finanzielle Steuerungskennzahlen

Die zentralen finanziellen Steuerungskennzahlen der AIXTRON-Gruppe sind Auftragseingang, Umsatzerlöse, Bruttomarge und das Ergebnis vor Steuern und Finanzergebnis im Verhältnis zum Umsatz (EBIT-Marge). Sie werden im Berichtswesen von AIXTRON monatlich ermittelt und dem Management in einem umfangreichen Bericht zur Verfügung gestellt. Auf diese Weise kann der Vorstand Wachstumsträger frühzeitig identifizieren, unterjährige Entwicklungen analysieren und im Falle von erkennbaren Abweichungen zeitnah gegensteuern.

AIXTRON strebt ein organisches Wachstum der Umsatzerlöse an; etwaige Wechselkurseffekte werden bei der Festlegung der Umsatzziele ausgeklammert. Der Auftragseingang, wie nachfolgend im Abschnitt “Auftragsentwicklung” erläutert, bildet das Investitionsverhalten der Kunden ab und dient damit als Frühindikator für die Umsatzerlöse. Der Zeitraum zwischen dem Eingang und der Lieferung eines Auftrags für eine MOCVD-Anlage liegt aktuell zwischen neun bis zwölf Monaten.

Die Bruttomarge, die das Bruttoergebnis ins Verhältnis zum Umsatz setzt, gibt Aufschluss über die Profitabilität und Rentabilität des operativen Geschäfts bei AIXTRON. Als bedeutende Größe für die operative Steuerung und Analyse der Ertragslage wird zudem die EBIT-Marge herangezogen.

Nicht-finanzielle Steuerungskennzahlen

Seit der Einführung des neuen Vorstandsvergütungssystems im Geschäftsjahr 2020 definiert AIXTRON im Rahmen des Long Term Incentive (LTI) jährlich Nachhaltigkeitsziele für den Vorstand, welche über eine dreijährige Referenzperiode zu erreichen sind, und bezieht entsprechende nicht-finanzielle Leistungsindikatoren in die Konzernsteuerung mit ein.

Für die in den Geschäftsjahren 2022 und 2023 beginnenden LTI-Referenzperioden wurden neue nicht-finanzielle Leistungsindikatoren festgelegt. Im Wesentlichen sind dies:

• Anteil der ökologisch nachhaltigen Umsatzerlöse, Investitionsausgaben (CapEx) und Betriebsausgaben (OpEx) im Sinne der EU-Taxonomie-Verordnung
• Strategische Führungskräfte- und Personalentwicklung, gemessen anhand definierter Quoten

Forschung und Entwicklung (F&E)

Neben dem F&E-Zentrum am Hauptsitz in Herzogenrath unterhält AIXTRON ein weiteres Forschungs- und Entwicklungslabor in Cambridge (Großbritannien). Diese mit AIXTRONAnlagen ausgestatteten Labore dienen der Erforschung und Entwicklung neuer Anlagen, Materialien und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterstrukturen.

Fokus auf Innovation

Die F&E-Aktivitäten des Konzerns umfassten im Jahr 2022 weiterhin Entwicklungsprogramme für zukünftige Technologien und neue Produkte als auch eine kontinuierliche Verbesserung der bestehenden Produkte von AIXTRON. Um die industrielle Reife zu steigern, wurden die Produkte entlang der ganzen Wertschöpfungskette optimiert, z.B. durch Designverbesserungen bei extern bereitgestellten Komponenten oder durch verbesserte Datenanalysen. Zudem arbeitet AIXTRON an kundenspezifischen Entwicklungsprojekten und forscht an neuen Technologien, oft auch im Rahmen öffentlich geförderter Projekte.

Die F&E-Kompetenz bleibt für AIXTRON von großer strategischer Bedeutung, da sie aus unserer Sicht für ein wettbewerbsfähiges Portfolio von Spitzentechnologien sorgt und die zukünftige Geschäftsentwicklung unterstützt. AIXTRON investiert gezielt in Forschungsund Entwicklungsprojekte, um die führende Stellung bei MOCVD-Systemen für Anwendungen wie Laser, Micro LEDs, Spezial-LEDs und die Produktion von Materialien mit großem Bandabstand (Wide-Band-Gap) für die Leistungselektronik zu erhalten bzw. auszubauen. Zudem wird an neuartigen 2D-Nanostrukturen gearbeitet, denen in der Forschung aktuell großes Potenzial beigemessen wird.

Für die konsequente technologische Weiterentwicklung unseres Produktportfolios haben wir im Jahr 2022 mit EUR 57,7 Mio. rd. 12% des Umsatzes (2021: mit EUR 56,8 Mio. rd. 13%) in Forschung und Entwicklung (F&E) investiert. Zum Jahresende 2022 waren 254 der insgesamt 895 Mitarbeiter (2021: 223 von 718 Mitarbeitern) der AIXTRON-Gruppe mit Forschung und Entwicklungsaufgaben beschäftigt.

Schutz der Technologie durch Patente

AIXTRON strebt an, seine Technologien über entsprechende Patente zu sichern, sofern diese für das Unternehmen strategisch zielführend sind. Zum 31. Dezember 2022 verfügte der Konzern über 252 (davon AIXTRON SE: 237) Patentfamilien (31. Dezember 2021: 269 Patentfamilien). Im Berichtszeitraum wurden für 8 (davon AIXTRON SE: 8) Patentfamilien Patente neu beantragt. Patentschutz für Erfindungen wird üblicherweise jeweils in den für AIXTRON wesentlichen Absatzmärkten, insbesondere in Europa, China, Japan, Südkorea, Taiwan und den USA angestrebt. AIXTRONs Patentportfolio wird jährlich evaluiert und entsprechend angepasst. Die einzelnen Patente laufen zwischen 2023 und 2042 aus. Darüber hinaus führt AIXTRON kontinuierlich eine weltweite Patentanalyse durch, um Veränderungen im Wettbewerbsumfeld frühzeitig feststellen und einschätzen zu können.

Forschungsprojekte 2022

Gemeinsam mit unseren Projektpartnern haben wir im Berichtsjahr erneut an vielversprechenden Forschungsprojekten gearbeitet. Auch hier agieren wir auf globaler Ebene und fokussieren uns auf Bereiche mit attraktivem Wachstumspotenzial.

Das Projekt „GIMMIK“ zielte auf die Erhöhung der Produktionstauglichkeit unserer Technologie für die Abscheidung von Graphen und anderer 2D-Materialien ab. Wir haben in diesem Projekt eine Verbesserung der MOCVD-Technologie für Graphen erreicht. So erfüllen wir die internationalen Anforderungen einer vielseitigen, hochflexiblen Schlüsseltechnologie mit häufig wechselnden Kundenanforderungen, Prozessen und Produkten. Das Projekt wurde 2022 erfolgreich abgeschlossen.

Auch das Forschungsprojekt „UltimateGaN” (Research for GaN technologies, devices and applications to address the challenges of the future GaN roadmap) haben wir 2022 mit der Erreichung aller wichtigen Projektziele erfolgreich abgeschlossen. In einem produktionsnahen Umfeld erfolgten der erfolgreiche Test und die Bewertung der Lösungsansätze. AIXTRONs Hauptziel war die Erhöhung der Produktionstauglichkeit der MOCVD-Technologie für Anwendungen in der Leistungselektronik sowie in der Mikrowellentechnik in den Märkten Energie, Mobilfunk und Elektromobilität.

Beispielhaft für die Forschungsarbeit des Konzerns seien an dieser Stelle auch die Projekte „YESvGaN“ und „Transform“ erwähnt:

Im Rahmen des „YESvGaN (Vertical GaN on Silicon: Wide Band Gap Power at Silicon Cost)“-Projekts wird eine neue Klasse von Leistungstransistoren auf der Grundlage von Galliumnitrid (GaN) entwickelt, die sowohl erschwinglich als auch hocheffizient sein werden. Dies wird durch so genannte vertikale GaN(vGaN)-Membrantransistoren erreicht, die für die Umwandlung bei Spannungen bis zu 1200 Volt und für Stromstärken bis zu 100 Ampere geeignet sind. Die Entwicklung dieser neuen Transistoren wird Innovationen in mehreren Teilen der Halbleiterprozesskette umfassen, wie kostengünstige Substrate für dicke Epitaxieschichten, vertikale Membrane als aktive Schicht oder Transistoren mit mehreren parallelen Kanälen.

Ziel des Projekts „TRANSFORM” (Trusted European SiC Value Chain for a greener Economy) ist es, eine vollständige und wettbewerbsfähige europäische Lieferkette für Leistungselektronik auf der Grundlage von Leistungshalbleitern aus Siliziumkarbid (SiC) aufzubauen. Es umfasst Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten entlang der gesamten Wertschöpfungskette, von SiC-Substraten bis zu Energiewandlern, um den europäischen Marktteilnehmern eine zuverlässige Quelle für SiC-Komponenten und -Systeme zu bieten. Das Projektkonsortium wird den G10-SiC AIXTRON-Planetenreaktor® für die SiC-Epitaxie für mehrere 200-mm-Substrate einsetzen und fortschrittliche, industrietaugliche Prozesse entwickeln.