Koreanisches Institut DGIST entwickelt Nanoröhren-Felder mit AIXTRON Anlage

„Für die Entwicklung dieser einzigartigen Bauelemente ist die kontrollierte Abscheidung einzelner, vertikal ausgerichteter Kohlenstoff-Nanoröhren auf festgelegten Positionen erforderlich“, sagt Professor Jae Eun Jang vom Department of Information & Communication Engineering am DGIST. „Hier ist die plasmabasierte Anlage von AIXTRON anderen Systemen, die wir in Betracht gezogen hatten, deutlich überlegen und versetzt uns in die Lage, Kohlenstoffnanoröhren durch optimale Steuerung der Wachstumsparameter und der Ausrichtung reproduzierbar herzustellen.“

Auch wenn die Erforschung von CNT-Bauelementen in den letzten zehn Jahren bemerkenswerte Fortschritte erzielt hat, bleibt die präzise Steuerung von Anzahl und Position der Nanoröhren auf großen Flächen eine der Herausforderungen bei der Herstellung integrierter Schaltkreise. Das Institut will diese Aufgabe mit der AIXTRON Anlage jetzt lösen.

„Mit der BM-Anlage sind wir in der Lage, einwandige vertikale CNTs mit exakt vorgegebenen Abmessungen an festgelegten Positionen zu erzeugen – ein Prozess, der sich auch auf die bestehende Siliziumtechnologie übertragen lässt. Verglichen mit konventionellen Ansätzen ist die vertikale Orientierung einzelner Nanoröhren ein entscheidender Vorteil, weil so die Fläche des Bauelements deutlich verkleinert werden kann. Damit werden wir vertikale Nanoröhren nicht nur in Bauelementen für die Elektronik- und Kommunikationsindustrie, sondern auch in neuen Anwendungen wie Roboter- und Nano-Elektromechanischen Systemen einsetzen“, so Professor Jang.

Nach dem Abschluss zum Bachelor of Engineering an der Hanyang Universität in Seoul, Korea, erhielt Professor Jang den PhD der englischen Universität Cambridge. Er wurde unter anderem mit dem "Outstanding Paper Award" des IMID 2010, dem "Innovative Invention Award" von Samsung Electronics 2009 und dem Samsung Best Paper “Silver Award” in 2008 ausgezeichnet. Seine aktuellen Forschungsthemen sind drahtlose Kommunikationssysteme, elektronische 3D-Bauteile, Sensoren, flexible Elektronik/Körpercomputer, Human-Interface-Bauteile und optische Shutter.

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®