AIXTRON beteiligt sich an Europas Pilotlinie für Graphen und 2D-Materialien

Herzogenrath, 26. November 2020 – Als einer der weltweit führenden Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie sind AIXTRON SE (FSE: AIXA) und AIXTRON Ltd (UK) wichtige Partner der Initiative 2D Experimental Pilot Line des „Graphene Flagship“. AIXTRON ist deshalb für die Entwicklung der für Graphen und verwandte Materialien (Graphene and Related Materials, GRM) erforderlichen Abscheidemethoden und
-prozesse verantwortlich.

Um  Graphen- und 2D-Materialien zur Marktreife zu bringen und in Halbleiterbauelemente zu integrieren, wird AIXTRON einen Reaktor für den Prozess der metallorganisch-chemischen Gasphasenabscheidung (Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD) entwickeln. Mit diesem MOCVD-Reaktor können diese Materialien direkt auf großen Substraten von bis zu 300 mm Durchmesser unter Verwendung der Close Coupled Showerhead® (CCS)-Technologie abgeschieden werden. Mit Hilfe dieser Wachstumstechnologie können 2D-Materialien und die damit verbundenen Heterostrukturen in Industriequalität hergestellt werden.

Um eine effektive Integration in Schaltungen und Bauelementen sicher zu stellen, erforscht AIXTRON neuartige Prozesse und entwickelt ein System für einen automatisierten Transfer von 2D-Materialstrukturen auf angepasste Bauelementstrukturen. Bei der Pilotlinie spielen diese Plattformen eine Schlüsselrolle für die Integration von Graphen und 2D-Materialien im großen Maßstab in Logik-, Speicher-, Photonik- und Sensorbauelemente.

2D-EPL deckt die gesamte Wertschöpfungskette ab

Die Europäische Kommission stellt für die 2D Experimental Pilot Line (2D-EPL) 20 Millionen Euro für einen Zeitraum von vier Jahren zur Verfügung. Der Startschuss für das Projekt erfolgte  am 1. Oktober 2020. Das Projekt wird ein geeignetes europäisches Umfeld für die Prototyp-Produktion von GRM-basierter Elektronik, Photonik und Sensoren schaffen.

Die 2D-EPL hat elf Partner und deckt die gesamte Wertschöpfungskette ab – einschließlich Anlagenhersteller, Chemikalien- und Materialanbieter bis hin zur Pilotlinie zur Verarbeitung  von Graphen und 2D-Materialien. So soll erreicht werden, dass Prototyping-Dienstleistungen nicht nur für das Kernprojekt „Graphene Flagship“ bereit gestellt werden, sondern auch für externe Unternehmen, Forschungszentren und universitäre-forschungsgetriebene Nutzer. Diese Vorgehensweise ermöglicht eine rasche Einführung von Graphen und 2D-Materialien in reale Anwendungen und zu günstigen Kosten.

„Wir freuen uns sehr, Teil des 2D-EPL-Projekts zu sein. Als Technologieführer bei Halbleiteranlagen seit mehr als 30 Jahren besteht unsere Kernkompetenz darin, innovative Lösungen für die Abscheidung komplexer Materialien zu entwickeln – und Abscheidungslösungen für Graphen- und 2D-Materialien sind ein wichtiger Teil unseres Produktportfolios“, sagt Professor Dr. Michael Heuken, Vice President Corporate Research & Development der AIXTRON SE und Professor an der RWTH Aachen.

Er fügt hinzu: „Diese Materialien erfordern eine sehr präzise Zusammensetzung sowie eine Kontrolle der Schichtdicke bis hinunter zu einer Atomlage. Wir werden die Technologien unserer Halbleiter-Produktionsplattformen nutzen, um diese neue Materialklasse zu einem Erfolg für Bauelemente im Wafer-Maßstab zu machen."

Weitere Informationen über die 2D-EPL des „Graphene Flagship“ finden Sie unter https://graphene-flagship.eu/pilot-line.

Die 2D-Experimental-Pilotlinie wird durch das Forschungs- und Innovationsprogramm Horizont 2020 der Europäischen Union im Rahmen der Zuschussvereinbarung Nr. 649953 finanziert.

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