AOI bestellt MOCVD-Technologie bei AIXTRON

Herzogenrath, 2. April 2019 – AIXTRON SE (FSE: AIXA), ein weltweit führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, gab heute die Lieferung mehrerer AIX 2800G4-Anlagen an den US-amerikanischen Photonik-Hersteller Applied Optoelectronics, Inc. (AOI) bekannt, der sich auf das Design, die Entwicklung und die Produktion zukunftsweisender optischer Bauelemente, verpackter optischer Komponenten, optischer Subsysteme sowie von Lasertransmittern und Glasfaser-Transceivern konzentriert. Die gelieferten Systeme verfügen über eine 12x4-Zoll-Konfiguration.

Die AIX 2800G4-Plattform hat sich vor allem deshalb im Markt als führende Anlage für die großvolumige Herstellung von Oberflächenemittern (engl. VCSEL, vertical-cavity surface-emitting laser) für 3D-Sensoren und anderen Diodenlasern etabliert, weil das Planetenreaktor®-Konzept bei der Kontrolle von Dicke und Gleichmäßigkeit der Wellenlängen von Epitaxie-Schichten eine einzigartige Leistungsfähigkeit bietet. Die Effizienz der Anlage in der Handhabung der teuren, für die MOCVD-Prozesse verwendeten Chemikalien, ist unübertroffen. Gleichzeitig liefert sie eine maximale Produktionsausbeute hochwertiger Laser-Bauelemente. Neben der exzellenten Reproduzierbarkeit jedes einzelnen Systems schätzen Kunden auch die sehr gute Wiederholgenauigkeit der Systeme.

Dr. Klaus Anselm, Vice President of Semiconductor Products bei AOI, sagt: "Nach den guten Erfahrungen mit AIXTRON-Anlagen in der Vergangenheit werden wir auch bei der Produktionserweiterung die bewährte Planetentechnologie aus Deutschland einsetzen. Die AIX 2800G4 hat uns in allen Testphasen überzeugt, so dass wir uns nun darauf freuen, die Anlage zum Start der Serienproduktion unserer nächsten Generation optoelektronischer Komponenten zu nutzen."

"Wir freuen uns sehr, dass AOI seine Produktion um unser marktführendes AIX 2800G4-System erweitert hat. Eine Anlage, die sich in den vergangenen Jahren einen Ruf als Referenzanlage zur Herstellung hochwertiger Laserbauelemente in der Halbleiterindustrie erworben hat. Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit AOI", sagt Dr. Bernd Schulte, Mitglied des Vorstands der AIXTRON SE.

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