University of Illinois installiert AIXTRON Anlage

Das Konzept des 3x2” Close Coupled Showerhead-Reaktors ist an AIXTRONs „ Integrated Concept (IC)" angelehnt, das für die industrielle Herstellung entwickelt wurde.

Aachen, 27. Juni 2013 – Die amerikanische University of Illinois hat im zweiten Quartal 2013 eine 3x2-Zoll Close Coupled Showerhead (CCS)-Anlage für den Standort Urbana-Champaign erhalten. Damit will die Hochschule III-V-basierte Verbindungshalbleiter-Materialien und -Bauelemente wie Solarzellen und Transistoren auf Basis von Nanodrähten entwickeln. AIXTRON erhielt die Bestellung im vierten Quartal 2012.

„Bei unserer Suche nach einer flexiblen Forschungsanlage, die wir für verschiedene Programme einsetzen können, waren niedrige Betriebskosten und hohe Prozessflexibilität die wichtigsten Punkte", erklärt Professor Xiuling Li. Er leitet die Abteilung Elektro- und Computertechnik und das Labor für Mikro- und Nanotechnologie (MNTL) an der Universität.  „Vor allem Flexibilität ist unverzichtbar, wenn mehrere Anwender unterschiedliche Materialien an einer Anlage erforschen."

Das MNTL in Illinois verfügt über Reinräume der Klassen 100 und 1000 auf einer Gesamtfläche von rund 750 Quadratmetern. Erst kürzlich hatte die Hochschule 18 Millionen US-Dollar in den Ausbau von Fakultät und Studiensekretariaten investiert.

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®