AIXTRON verkauft erste 300 mm Graphen-Anlage an AIST

Die im ersten Quartal 2011 bestellte Black Magic wird im dritten Quartal 2011 ausgeliefert und in einem Reinstraum in Tsukuba von AIXTRONs lokalem Serviceteam in Betrieb genommen. 

Das AIXTRON Black Magic Graphen-System erfüllt die äußerst anspruchsvollen Anforderungen der Projektgruppe `Synthese und Anwendungen von Graphen´. Diese ist Teil eines Sonderforschungsteams am Green Nanoelectronics Center (GNC). Das GNC widmet sich der Entwicklung und dem Einsatz von Kohlenstoff-Nanomaterialien – eines von drei zentralen Forschungszielen, die im April 2010 am Institut AIST definiert wurden.

„Wir liefern die derzeit fortschrittlichste technologische Plattform für die Herstellung von Graphen", erklärt Dr. Ken Teo, Direktor des Nanoinstruments-Bereichs bei AIXTRON. „Es dürfte die weltweit erste kommerziell verfügbare und verkaufte 300 mm-Anlage sein. Die Black Magic zeichnet sich durch optimale Temperaturverteilung und ein technisch ausgereiftes Gaszuführungssystem aus, das präzise Ausgangsmaterialien liefert. Die Bestellung umfasst darüber hinaus ein ARGUS In-Situ-Pyrometer zur Messung der Oberflächentemperatur, ein Transfermodul zur automatischen Waferbestückung und eine Multiwafer-Ladestation für hohen Durchsatz."

Das öffentliche Forschungsinstitut AIST unter der Leitung von Präsident Nomakuchi wird maßgeblich von der japanischen Regierung finanziert. Die Hauptstandorte befinden sich in Tsukuba und Tokio. Mehr als vierzig autonome Teams in ganz Japan betreiben in neun Forschungszentren und an weiteren Standorten modernste Forschung. Thomson Reuters stufte AIST unter die Top 10 der japanischen Forschungsinstitute ein (1998-2008).

Das GNC wird von FIRST* gefördert – einem Programm zur Stärkung von Japans Spitzenforschung und internationaler Wettbewerbsfähigkeit zum Wohl von Gesellschaft und Bevölkerung. Der Ausschuss für Wissenschafts- und Technologiepolitik im Kabinettbüro der japanischen Regierung bewilligte das Projekt 2009. Alle Forschungsaktivitäten werden in Zusammenarbeit mit industriellen Partnern durchgeführt.

*FIRST, Funding Program for World-Leading Innovative R&D on Science and Technology = Förderprogramm für weltweit führende innovative wissenschaftliche und technologische Forschung & Entwicklung. 

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®