King Abdullah University erforscht Kohlenstoff-Nanostrukturen mit AIXTRON Anlage

AIXTRON SE gab heute bekannt, dass die King Abdullah University of Science and Technology (KAUST) eine plasmaunterstützte AIX BM-Anlage zur chemischen Gasphasenabscheidung für die Herstellung von Graphen und Kohlenstoff-Nanoröhren bestellt hat. Die neue Anlage wird in einer 4-Zoll-Konfiguration im dritten Quartal 2014 ausgeliefert.

Professor Pedro Da Costa leitet das Team, das die Anlage im KAUST-Labor für Kohlenstoff-Nanostrukturen nutzen wird. „Wir planen, unsere Forschung in diesem schnell wachsenden Segment auszubauen, um eine breite Palette neuer Anwendungsmöglichkeiten zu entdecken“, erklärt Da Costa. „Für die Unterstützung dieses Vorhabens benötigen wir den leistungsstärksten verfügbaren Reaktortyp zur Herstellung von qualitativ hochwertigen Kohlenstoff-Nanomaterialien. Daher haben wir uns für die weltweit führende BM Pro-Anlage von AIXTRON entschieden.“

„Wir freuen uns über die erste Bestellung von KAUST. Unsere BM Pro-Anlage basiert auf dem vertikalen Showerhead-Konzept, das sowohl Homogenität und Skalierbarkeit, als auch hohe Aufheizraten und plasma-basierte Prozesse ermöglicht, um erfolgreich ein- und mehrschichtiges Graphen sowie verschiedenen Arten von Nanoröhren zu niedrigen Betriebskosten und mit geringem Wartungsaufwand herzustellen“, sagt Dr. Frank Schulte, Vice President AIXTRON Europe.

Die BM-Reihe von AIXTRON unterstützt Substratdurchmesser von 50 mm (2-Zoll) bis 300 mm. Die proprietäre Showerhead-, Heizer- und Plasma-Technologie von AIXTRON garantiert, dass Anwender von Homogenität, Skalierbarkeit und Reproduzierbarkeit sowie exzellenter Filmqualität profitieren.

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®