AIXTRON unterstützt LED- und Laserforschung der Universität Peking

Die Universität Peking (PKU) in China erweitert ihre Forschungskapazität mit einem zusätzlichen Close Coupled Showerhead (CCS)-Reaktor von AIXTRON. Mit der im zweiten Quartal 2012 bestellten Anlage können 3x2-Zoll-Substrate pro Produktionslauf beschichtet werden. Die Auslieferung erfolgte im ersten Quartal 2013.

„Wir sind mit unserer vorhandenen Showerhead-Anlage sehr zufrieden", erklärt Professor Shen Bo – einer der Wissenschaftler, die an der neuen Anlage arbeiten werden. „Jetzt wollen wir unsere UV-LED- und Laserforschung weiter optimieren. Dazu entwickeln wir Aluminium-Galliumnitrid (AlGaN) – ein anspruchsvolles Unterfangen aufgrund der hohen Temperaturen von über 1200°C. Auch die Dotierung von AlGaN ist nicht trivial, vor allem aufgrund des Elements Magnesium, das zur Herstellung der p-leitenden Regionen der Diode notwendig ist. Diese Region ist in der Diode für die Löcherinjektion verantwortlich", so der Experte.

Der AIXTRON Showerhead-Reaktor ist die ideale Technologie für die Herstellung im kleinen Maßstab und für Forschungszwecke. Prozesse können leicht auf größere Systeme übertragen werden. Die stabile Plattform steht für Zuverlässigkeit, leichte Bedienbarkeit und gute Reproduzierbarkeit.

Die Universität Peking wurde 1898 gegründet und war die erste große staatliche Universität Chinas. Gegen Ende des 20. Jahrhunderts initiierte die chinesische Regierung ein Programm zur Förderung der Hochschulbildung mit dem Ziel, die Universität Peking bis zum 21. Jahrhundert zu einer Elite-Universität in China zu machen. Mit dieser Unterstützung hat die Hochschule bis heute große Errungenschaften in zahlreichen Kompetenzprogrammen, in der Talentförderung sowie in Wissenschaft & Forschung erzielt.