31. März 2011 | Pressemeldungen

PARC produziert InGaAlN-Laser und LEDs mit AIXTRON CCS

PARC – ein Xerox-Unternehmen mit Sitz in Palo Alto, Kalifornien, USA – hat eine Close Coupled Showerhead MOCVD*-Anlage von AIXTRON bestellt. Die Anlage umfasst das vollständige Leistungsspektrum, wie das In-Situ Multi-Channel-Pyrometer ARGUS, hohe Wachstumtemperaturen sowie einstellbare Reaktorhöhe, die optimale Bedingungen für die Herstellung von (Al)GaN** in einem weiten Druckbereich ermöglicht.

Die 3x2-Zoll Close Coupled Showerhead-Anlage wurde im vierten Quartal 2010 bestellt. Nach der Auslieferung im zweiten Quartal 2011 wird PARC diese für die Herstellung InGaAIN**-basierter LEDs, Laserdioden und elektronischer Bauelemente einsetzen. Ein Serviceteam von AIXTRON Inc. wird die neue Anlage in einer speziellen Einrichtung in PARCs Forschungsabteilung für elektronische Materialien und Bauteile in Betrieb nehmen.

„Für die laufenden Forschungsaktivitäten benötigen wir eine zukunftsfähige MOCVD-Anlage mit modernsten Funktionalitäten, mit der unser Team eine große Bandbreite optoelektronischer Materialien und Bauelemente entwickeln kann", sagt Jennifer Ernst, Leiterin Geschäftsentwicklung bei PARC. „Die AIXTRON Anlage hat eine gute Marktverbreitung und passt exakt auf unser Anforderungsprofil." Mit erweiterten Kapazitäten und verbesserter Leistungsfähigkeit könne PARC nun neue Technologien für die Entwicklung von Bauelementen bereit stellen. Die Entwicklung neuer Prozesse in einer kommerziellen Anlage biete überdies die Möglichkeit, zu einem späteren Zeitpunkt ein Scale-up sowie den Transfer in die Serienproduktion vorzunehmen. „Zusammen mit AIXTRONs erfahrenem Team wollen wir zum Beispiel kurzfristig optimale Bedingungen für das Wachstum von AlGaN**-Verbindungen mit hohem Al-Anteil schaffen, wie sie für optische Bauteile im tiefen UV-Bereich erforderlich sind."

PARC verfügt über ein erstklassiges F&E-Team im Bereich der optoelektronischen Materialien und Bauelemente und hat bereits LEDs und Laserdioden im sichtbaren und ultravioletten (UV) Spektralbereich entwickelt. Das Unternehmen leistet einen wichtigen Beitrag zum grundlegenden Verständnis von Materialien und Bauelementen - mit zahlreichen Innovationen in Konzeption und Realisierung InGaAIN-basierter Bauelemente für optoelektronische Anwendungen.

Über Parc:

Das Geschäftsmodell umfasst die Bereiche Konzeption, Prototyping, Co-Entwicklung und Lizensierung. PARC liefert richtungsweisende Technologien und Dienstleistungen für die Regierung und industrielle Kunden. Durch die Verknüpfung von Analyse und Strategie steht das Unternehmen seit 40 Jahren für Innovationskraft und technologischen Wandel. Seit der Angliederung an Xerox als unabhängige Tochtergesellschaft in 2002 wird dieser Ansatz in breiter angelegten Kunden-, Markt- und Industriesegmenten fortgesetzt. (www.parc.com.)

* MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung
** GaN/(Al)GaN/InGaAIN = Galliumnitrid/Aluminium-Galliumnitrid/Indium-Gallium-Aluminiumnitrid

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®

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