14. August 2012 | Verbindungshalbleiter

NCU Taiwan entwickelt GaN-auf-Si Hochleistungsbauteile mit AIXTRON Anlage

Die National Central University (NCU) in Taiwan hat eine weitere MOCVD-Anlage von AIXTRON bestellt. Mit einer neuen 1x6-Zoll Close Coupled Showerhead-Anlage will die Universität Galliumnitrid (GaN)-Strukturen auf 6-Zoll-Substraten herstellen, mit denen Bauteile zur Leistungssteuerung erforscht und entwickelt werden sollen.

Ein Serviceteam von AIXTRON Taiwan hat die Installation und Inbetriebnahme im Reinraum des Labors für Mikrowellen- und optoelektronische Bauteile an der Hochschule durchgeführt.

„Die Nachfrage nach kostengünstigen GaN-Leistungsbauelementen in Hocheffizienz- und Hochleistungssystemen steigt kontinuierlich", erklärt Professor Jen-Inn Chyi vom Lehrstuhl für Elektrotechnik an der NCU. „Wir planen daher, unsere eigenentwickelte Halbleiter-Technologie für die industrielle Nutzung vorzubereiten.“ Dies solle zunächst im Rahmen eines Pilotprojekts und anschließend auch für die Produktion im großen Maßstab erfolgen. „Für unser Vorhaben benötigen wir die beste Ausstattung, wozu die Multiwafer-Anlage von AIXTRON zweifellos gehört. Sie eignet sich ideal für die Herstellung von GaN-Heterostrukturen auf großflächigen Silizium-Wafern, mit denen Hochleistungsbauelemente möglichst kostengünstig produziert werden können." AIXTRON sei außerdem für hervorragenden Service bekannt, der das wichtige Projekt optimal unterstützen werde.

Die taiwanesische National Central University (NCU) genießt weltweit hohes Ansehen in Forschung und Wissenschaft. Mit einem dualen Ausbildungs- und Forschungsprogramm, technologischer Spitzenforschung und innovativem Lernen will die Universität eine der ersten Adressen des Landes sowie im internationalen Vergleich bleiben. Das Forschungsspektrum umfasst komplexe Systeme, Flüssigkristalle, neuronale Netze, Phonon- und Photongitter, Halbleiter, magnetische Dünnfilme und Supraleiter.

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®

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