Forepi verstärkt Produktion blauer HB-LEDs mit AIXTRON CRIUS II

Der Auftrag wurde im ersten Quartal 2011 erteilt, die Auslieferung begann im zweiten und endet im vierten Quartal 2011. AIXTRONs Serviceteam vor Ort wird die neuen Anlagen in der hochmodernen Produktionsstätte des Unternehmens in Taiwan installieren und in Betrieb nehmen.

„Unser technisches Team hat großes Vertrauen in AIXTRONs Technologie", berichtet Forepis Präsident Dr. Fen Ren Chien. „Die CRIUS II liefert uns die dringend benötigten zusätzlichen Produktionskapazitäten. Durch die Erweiterung des CRIUS II-Reaktors von 31x2- auf 55x2-Zoll-Wafer werden die neuen Anlagen bei unserer zukünftigen Produktionssteigerung von blauen HB-LEDs eine tragende Rolle spielen.

Mit der Leistung unserer bestehenden AIXTRON MOCVD**-Anlagen sowie mit dem sehr guten Service des lokalen Teams bin ich absolut zufrieden. Aufgrund unserer Erfahrungen mit der ersten CRIUS II haben wir uns sehr schnell dafür entschieden, unsere Produktion mit weiteren CRIUS II-Systemen aufzustocken. Damit profitieren wir von den technologischen Vorzügen der nächsten Generation des AIXTRON Close Coupled Showerhead- (CCS) Konzepts. Mit der CRIUS II erzielen wir höchste Wachstumsraten bei hohem Prozessdruck sowie absolute Partikelfreiheit und haben außerdem einen geringeren Wartungsaufwand. Noch bessere Leistung, in Verbindung mit größerer Kapazität – damit wurde uns die Entscheidung für eine Bestellung weiterer Anlagen dieser neuen Generation sehr leicht gemacht."

AIXTRON Vorstandsmitglied Dr. Bernd Schulte ergänzt: „Die AIXTRON CRIUS-Serie steht weiterhin weltweit für ökonomische Prozesse und Betriebszeiten sowie für eine einfache Handhabung. Durch die einzigartige CCS-Reaktortechnologie muss lediglich die Wafergröße für einen einfachen Prozesstransfer angepasst werden – das ist besonders zweckmäßig für Kunden wie Forepi. Alternativ kann die CRIUS II auch 13x4-Zoll-Wafer beschichten. Das ist sehr wichtig, um die Herstellungskosten von GaN-basierten LEDs möglichst gering zu halten.”

*   HB (High Brightness) LED = sehr helle LEDs
** MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®