Universität Stuttgart bestellt weitere AIXTRON Anlage

Die Universität Stuttgart erhält eine weitere Close Coupled Showerhead (CCS)-Anlage von AIXTRON. Der für 3x2-Zoll-Substrate konfigurierte Reaktor wird vom Forschungsteam des Instituts für Halbleiteroptik und Funktionelle Grenzflächen (IHFG) genutzt.

Die Wissenschaftler am IHFG sind Spezialisten für Halbleiteroptik und Epitaxie. Mit Hilfe der neuen Anlage wollen sie insbesondere neue Materialien für Festkörperlaser herstellen und damit ihre Aktivitäten in der Galliumarsenid-basierten Optoelektronik verstärken. Der im ersten Quartal 2012 bestellte Showerhead-Reaktor wird im dritten Quartal ausgeliefert.

„Wir werden die 3x2-Zoll-Anlage für verschiedene Prozesse einsetzen", erklärt Dr. Michael Jetter vom IHFG. „Zunächst werden wir GaAs-basierte Laserstrukturen erzeugen und diese anschließend auf Siliziumsubstrate übertragen. Im Fachbereich Halbleiteroptik befassen wir uns hauptsächlich mit der Entwicklung von Halbleiterlasern und niedrigdimensionalen Strukturen, wie Quantentöpfen und -punkten."

Die Wissenschaftler konzentrieren sich auf die Erforschung der Quantenkryptographie und die Entwicklung von Einzelphotonenquellen. Synergien könnten sich auch aus ihrer Arbeit mit der Automobilelektronik ergeben. Ziel ist die Entwicklung von III/V-Halbleitermaterialien auf Siliziumsubstraten mit AIXTRONs MOCVD-Technologie. „Wir wollen der Silizium-Elektronik optische Fähigkeiten verleihen, indem wir III/V-basierte optoelektronische Bauelemente in CMOS-kompatible Substrate monolithisch integrieren – zum Beispiel Quantentopf- bzw. Quantenpunkt-basierte Laser und LEDs", so Dr. Jetter. „Diese könnten in optischen Datenverbindungen zur Kommunikation innerhalb und zwischen Chips sowie in Board­-to-­Board­-Verbindungen zum Einsatz kommen."

Die AIXTRON Technologie steht auch dem Stuttgarter Forschungszentrum SCoPE (Stuttgart Research Center of Photonic Engineering) zur Verfügung, das die interdisziplinäre Zusammenarbeit zwischen Naturwissenschaftlern und Ingenieuren an der Universität Stuttgart stärken will. Auch künftig wollen das IHFG und AIXTRON gemeinsam im Bereich III/V-auf-Silizium forschen und in anderen wissenschaftlichen Programmen im Raum Stuttgart kooperieren.

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