06. September 2011 | Verbindungshalbleiter

Jiangsu CANYANG steigert Kapazitäten für blaue HB-LEDs mit AIXTRON CRIUS II

Der chinesische Hersteller Jiangsu CANYANG Optoelectronics LTD, ein Joint Venture der taiwanesischen Formosa Epitaxy Inc. (FOREPI), hat eine neue Bestellung über vier 55x2-Zoll CRIUS II-Anlagen erteilt. Das Unternehmen will insbesondere den einfachen Prozesstransfer von der CRIUS auf die neuen CRIUS II MOCVD1-Anlagen für sich nutzen.

Die Anlagen wurden im zweiten Quartal 2011 bestellt und zwischen zweitem und viertem Quartal 2011 ausgeliefert. Sie sind die für die Herstellung blauer HB-LEDs2 vorgesehen. Ein Serviceteam von AIXTRON China Ltd. sorgt für die Installation und Inbetriebnahme in Jiangsu CANYANGs moderner Produktionsstätte in China.

„Mit der Massenproduktion blauer LEDs starten wir in ein neues Zeitalter", sagt Präsident Dr. Fen-Ren Chien von FOREPI. „Damit dies so reibungslos wie möglich gelingt, setzen wir erneut auf AIXTRON Technologie. Wir konnten uns von der Leistungsfähigkeit unserer CRIUS- und G4-Anlagen sowie dem hervorragenden Showerhead-Design überzeugen. Ich bin daher optimistisch, dass wir auch mit den neuen Anlagen schnellstmöglich produzieren können." Es handelt sich um Jiangsu CANYANGs erste CRIUS II-Anlagen. „Ich habe aber keinen Zweifel, dass diese die gewünschten Ergebnisse, einfaches Prozesshandling sowie erstklassige Kompatibilität liefern werden. Unser technisches Team ist sehr daran interessiert, die bestehenden Rezepte auf AIXTRONs neueste Anlagengeneration zu übertragen", so Präsident Dr. Fen-Ren.

High-Tech-Hersteller Jiangsu CANYANG Optoelectronics LTD ist auf die Erforschung, Entwicklung und industrielle Vermarktung von LED-Wafern und -Chips spezialisiert, insbesondere von ultrahellen LEDs auf InGaN-Basis3. Geplant sind Kapazitäten von bis zu 50 MOCVD-Anlagen innerhalb der nächsten zwei Jahre. Im April 2010 hatte das Unternehmen zuletzt eine größere Bestellung über AIXTRON Planeten- und Showerhead-Reaktoren für die Herstellung HB GaN-basierter3 LEDs erteilt.

1 MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung
2 HB-LEDs, High Brightness LEDs = sehr helle LEDs
3 InGaN = Indiumgalliumnitrid / GaN = Galliumnitrid

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®

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